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FFU过滤器的优缺点分析
发布时间:2018-10-08 16:23:38 浏览:76
FFU过滤器的优缺点分析
FFU过滤器的典型就用方式是,新风有新风空调机处理至所需状态点后送入,在静压箱内与回风混合后经FFU的风机加压后经HEPA或ULPA送入室内,再经架空地板或侧墙回至干盘管,在此经冷(热)处理后经由回压机送回至静压箱完成循环。这样的系统为常用于有超静要求的洁净室,如大型集成电路晶圆的制造、尖端显示器如TFT、PDP等的制造、硬盘的制造等。这样的FFU系统有诸多优点,简单的讲有六点:
1、系统非常灵活,可随时调整
因洁净室的壁板都以天花板格子的模数(如1200*600)来布置,并且由于其特殊的节点构造,洁净室的壁板可以随时调整位置,以此改变房间的布局。同时如果房间的洁净度需要调整,可以通过增减FFU数量的方法来实现。这对于通常集中送风的净化系统来说几乎是不可能的。
2、 出风均匀稳定
FFU因自带风机,出风均匀而稳定。避免了集中送风系统各送风口风量平衡的问题。对于垂直单向流洁净室尤为有利。
3、节能显著
FFU系统风管很少,除新风以风管送达外,大量的回风以小循环的方式在运行,因此大大减少了风管的阻力消耗。同时由于FFU的面风速一般为0.35~0.45m/s,高效过滤器阻力小,FFU的无壳风机功率很小,新型的FFU
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