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输配管道洁净技术的一般概念9 T8 f6 g& l& R/ q  R
    高纯、洁净气体体输送配管道，是指对输送气体的“三度”有一定的要求或控制。

气体纯度：气体中杂质气氛的含量，通常用气体纯度的百分数来表示，如99.9999%,也用杂质气氛含量的体积比ppm 、ppb、 ppt表示。

干燥度：气体中微量水分的含量，或称之为湿量，通常以露点表示，如常压露点-70℃。

洁净度：气体中含有污染物粒子的数量，粒径为?m的粒子，多少粒/M3 来表示，对于压缩空气，通常也用不可避免的固体残留物的多少mg/m3来表示，其中涵盖了含油量。  |# N8 e; v: W. E0 y
污染物大小分类：污染物粒子，主要指管道冲刷、磨损、腐蚀产生的金属粒子、大气烟尘粒子，以及微生物、噬菌体以及含湿气体凝聚的液滴等，按其粒径的大小分为：! Z) A' ]( ?6 f  m7 g; [
a)大粒子—粒径在5μm以上4 N. X  Z& j1 B, P5 y2 m- w
b)粒子—料径在0.1μm-5μm之间" }5 F' d# a  ?: Q8 q
c)超微粒子—粒径小于0.1μm。