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静电对电子工业危害分析
发布时间：2011-01-24 00:00:00 浏览：89
静电对电子工业危害分析
静电对电子工业危害主要表现为以下三种方式：尘埃吸附、静电放电和静电感应。
(1)尘埃吸附
静电对几~几十微米的尘埃吸附作用明显。尘埃对微电子生产影响很大，在现代微电子生产中，芯片的线宽已达到0.1微米。一颗直径几微米尘埃吸附在芯片上，即可造成十几根芯线间的绝缘强度降低，造成短路并使芯片损坏。
注: 1μm =0.001mm, 头发直径：75μm，
肉眼可见小黑点：40μm。
(2) 静电放电 （ESD）
静电放电可使集成电路芯片介质击穿，芯线熔断、漏电流增大而加速老化、电性能参数改变等。静电放电对芯片损坏具有潜在性与和缓慢失效性，这种危害性更大。
(3) 静电感应
静电感应不但具有静电放电的危害性，而且因其产生的宽频带干扰可对计算机和低电平数字电路发生翻转效应或导致仪器（表）运行失常。
原文链接：http://www.dgxyjg.com/js_view.asp?id=183835
文章来源：http://www.dgxyjg.com/ TEL:苏小姐-13570963006 黄生-13570963007
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