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影响洁净室内的空气品质的因素很多。如：洁净室内的新鲜空气量的大小；室内含氧量的多少；室内的负离子数量；室内装修安装等材料和生产过程产生的低浓度分子级的化学污染物的情况以及生产过程中散发的酸、碱、有机等废气都会影响洁净室内的空气品质。
1、洁净室内的新鲜空气量
《洁净厂房设计规范》50073-2001中规定“保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。”
根据平衡方程式：
人们工作正常呼吸排出的CO2量 M = 0.03 m3 /人·h
新鲜空气中CO2的含量  C0 = 0.0003 m3 / m3空气
洁净室内空气允许的CO2含量   C = 0.001 m3 / m3空气。
故：洁净室内人们正常工作所需的新鲜空气量 L新 = M/C-C0
    L新 = M/C-C0 = 0.03/0.001- 0.0003 = 42.86 m3 /人·h
因此，新鲜空气量按规范要求是可行的。新鲜空气量太小不利于洁净室内作业人员的健康，若新鲜空气量太大，运行能耗太大，运行费用太高不经济。但小不低于40m3 /人·h。

2、洁净室空气的含氧量
大气中氧气的含量大约占21%，氮气大约占79%，其他气体的含量占总量的比例微忽其微。而洁净室是一个密封的空间，往往在洁净室内作业的人员会感觉不舒服、闷气、头痛等等，是不是洁净室内空气中的氧气含量少了呢？为了这一问题，在1983年编制《洁净厂房设计规范》GBJ 73-84时，专门请了北京有关卫生部门的专家对北京878厂洁净室内的氧气含量进行了测试，其结果：洁净室内的氧气含量占20%左右，基本正常，但洁净室空气中含有一些其他化学污染物和气味，使人感觉不舒服。

3、洁净室空气中的负离子量
① 一般空气中的离子分为小离子、中离子和大离子三类。小离子是由3~12个带有基本电荷的分子组成的复合物（如： 等）；中离子是大约由100~1000个分子组成的复合体，一般寄存在微粒子上；大离子是由106个分子聚合在一起的凝聚核。

在99年8月份的《精品购物指南》杂志“空气中的负离子”一文中将空气中的负离子称为“空气中的维生素”。该文给出了不同地方空气中的负离子含量。

各空间空气中的负离子含量表（个/ cm3）