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洁净室标准规格说明
发布时间：2011-01-16 00:00:00 浏览：109
目前世界各国虽有自订的洁净室标准规格，但普遍还是采用美国联邦标准209为多，今就209D及209E和世界上其他各国之所订标准再做更进一步之介绍与相互比较。表1-1为美国联邦标准209D之洁净室规格。
表1-1 美国联邦标准209D洁净室规格
洁净室级数（Class) | 微尘粒子 | 压力 | 温度 | 风速与换气率（次/hr) | 照度lux | ||||||
| 粒子大小um | 粒子数目Particles/ft3 | mmAg | 值域℃ | 推薦值℃ | 误差值℃ | 大MAX% | 小MIN% | 误差% | 层流方式0.35~0.55 m/s | 1080 ~ 1620 | |
| 1 | ≧0.5 | ≦1 | ＞1.3 | 19.4~25 | 22.2 | ±2.8 特 殊 需 求 ±1.4 | 45 | 30 | ±10 特 殊 需 求 | ||
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