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半导体无尘室系统使用操作方法
发布时间：2011-10-20 00:00:00 浏览：64
半导体无尘室系统使用操作方法
1.首先打开控制器面板上的【电热运转】、【加压风车运转】、【浴尘室（风淋室）运转】、【排气风车（排气扇）运转】等开关。
注意:
＊ 温度控制器及湿度控制器可由黄色钮调整，一般温度控制為20℃ DB ，湿度控制為50% RH。
＊ 左侧的控制器面板上电压切换开关為【RU】，电流切换开关為【T】。右侧的控制器面板上电压切换开关為【RS】，电流切换开关為【OFF】。
2.将箱型空气调节机的送风关关打开，等送风稳定后再将冷气暖气开关打开，此时红色灯会亮起，表示正常运作。
注意:
＊ 冷气的起动顺序為压缩机【NO.2】。
＊ 温度调节為指针指向红色暖气【5】。
＊ 分流开关AIR VALVE 為【ON】。
3.无尘室使用完毕后，要先将箱型空气调节机关闭，按【停止】键即可。
4.再将控制器面板上的【电热运转】、【加压风车运转】、【浴尘室运转】、【排气风车运转】等开关依序关闭。
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