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半导体无尘室系统使用操作方法

发布时间:2011-10-20 00:00:00  浏览:64

半导体无尘室系统使用操作方法

1.首先打开控制器面板上的【电热运转】、【加压风车运转】、【浴尘室(风淋室)运转】、【排气风车(排气扇)运转】等开关。

注意:

温度控制器及湿度控制器可由黄色钮调整,一般温度控制為20 DB ,湿度控制為50% RH

左侧的控制器面板上电压切换开关為【RU】,电流切换开关為【T】。右侧的控制器面板上电压切换开关為【RS】,电流切换开关為【OFF】。

2.将箱型空气调节机的送风关关打开,等送风稳定后再将冷气暖气开关打开,此时红色灯会亮起,表示正常运作。

注意:

冷气的起动顺序為压缩机【NO.2】。

温度调节為指针指向红色暖气【5】。

分流开关AIR VALVE 為【ON】。

3.无尘室使用完毕后,要先将箱型空气调节机关闭,按【停止】键即可。

4.再将控制器面板上的【电热运转】、【加压风车运转】、【浴尘室运转】、【排气风车运转】等开关依序关闭。

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