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洁净室光罩对对准机使用操作方法

曝光机简介

    在半导体製程中，涂佈光阻后的晶片，须经UV紫外光照射曝光显影，此臺曝光机為OAI 200系列，整合光罩对準、UV紫外光曝光显影、UV紫外光测量装置及光罩夹持装置。

    OAI 200系列為一入门型光罩对準仪，可以手动操作更改各项使用参数，如曝光时间、曝光强度及曝光功率等等。对於中高阶的线宽有很好的显影效果，此系列大可使用四吋的晶片，大的曝光功率為1KW。

曝光机使用步骤

1.    检查氮气钢瓶〈AIR 60psi〉〈N2 20psi〉以及黄光室的氮气阀、空气阀是否有开啟。开啟曝光机下方延长线的红色总开关，再开啟曝光机、显微镜。

2.    接上隧道式抽风马达电源，进行曝光机抽风步骤，并检查曝光机上方汞灯座后面进风口是否有进气。如果风量微小或者无进气，则无法开啟汞灯的电源〈会有警报声〉。确定进风口有进气后，才可开啟曝光机下方的汞灯电源供应器ON/OFF开关。

3.    按住汞灯电源供应器之START键，约1~3秒鐘，此时电流值会上升〈代表汞灯点亮，开始消耗电流〉，马上放掉按键，汞灯即被点亮。

4.    汞灯点亮后，至少须待机30分鐘，使Lightsour系统稳定。假使汞灯无法点亮，请不要作任何修护动作。

5.    待系统稳定后，把电源供应器上的电压、电流值填到纪录表上，每一次开灯使用都要登记作為纪录。

6.    旋开光罩夹具之螺丝，光罩之正面〈镀铬面〉朝下，对準三个基準点，压下【MASK VAC.】键，使真空吸住光罩，再锁好螺丝以固定光罩。

注意：

＊ MASK Holder 必须放下时才能放置光罩。扳动【MASK FRAME UP/DOWN】可使MASK Holder升起或放下。

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