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微电子半导体无尘室管理规范-进入无尘室须知

一、无尘室须知

1. 进入无尘室前，必须知会管理人，并通过基本训练。

2. 进入无尘室严禁吸烟，吃(饮)食，外来杂物(如报章，杂誌，铅笔...等)不可携入，并严禁嘻闹奔跑及团聚谈天。

3. 进入无尘室前，需在规定之处所脱鞋，将鞋置於鞋柜内，外衣置於衣柜内，私人物品置於私人柜内，柜内不可放置食物。

4. 进入无尘室须先在更衣室，将口罩，无尘帽，无尘衣以及鞋套按规定依程序穿戴整齐，再经风淋室洗尘，并踩踏除尘地毯(洗尘室地板上)方得进入。

5. 戴口罩时，应将口罩戴在鼻子之上，以将口鼻孔盖住為原则，以免呼吸时污染晶片。

6. 穿著无尘衣，无尘帽前应先整理服装以及头髮，以免著上无尘衣后，不得整理又感不适。

7. 整肃仪容后，先戴无尘帽，无尘帽的穿戴原则系:

(1)头髮必须完全覆盖在帽内，不得外露。

(2)无尘帽之下摆要平散於两肩之上，穿上工作衣后，方不致下摆脱出，裸露肩颈部。

8. 无尘帽戴妥后，再著无尘衣，无尘衣应尺吋合宜，才不致有裤管或衣袖太短而裸露皮肤之虞，穿衣时应注意帽之下摆应保平整之状态，无尘衣不可反穿。

9. 穿著无尘衣后，才著鞋套，拉上鞋套并将鞋套整平，确实盖在裤管之上。

10. 戴手套时应避免以光手碰触手套之手掌及指尖处(防止钠离子污染)，戴上手套后，应将手套之手腕置於衣袖内，以隔绝污染源。

11. 无尘衣著妥后，经洗尘，并踩踏除尘毯，方得进入无尘室。

12. 不论进入或离开无尘室，须按规定在更衣室脱无尘衣，不可在其它区域為之，尤不可在无尘室内边走边脱。

13. 无尘衣，鞋套等，应定期清洗，有破损，脱线时