- 技术支持您现在所在的位置: 首页 > 技术支持
洁净室涂布机使用操作方法
发布时间：2011-10-14 00:00:00 浏览：58
洁净室涂布机使用操作方法
1. 首先将PUMP的电源插头插入涂布机后面的电源插座。
2. 将涂布机的插头插入110V的电源插座，然后按下【POWER】键。
3. 设定旋转的转速及时间，本机型為二段式加速的Spin Coating，右边為第一段加速，左边為第二段加速。
4. 依不同尺寸的基材，可更换不同的旋转转盘做涂布的动作。
5. 按下【PUMP】键，此时旋转转盘会吸住基材，然后将光阻依螺旋状从基材中心均匀且慢慢的往外涂开至适当的量，在做光阻涂开动作时可先用氮气将旋转转盘周围及基材吹乾净。
6. 盖上涂布机的保护盖，以防止光阻溅出涂布机外。
7. 按下【START】键，涂布机便开始做涂布的动作。
8. 涂布完毕后，打开保护盖，按下【PUMP】键旋转转盘会放开基材，便可以将基材取出。
洁净室涂布机使用操作方法由KLCFILTER风淋室整理并首发；
转载请注明来源http://www.dgxyjg.com/js_view.asp?id=12253537！联系人:黄贞民-13570963007
相关新闻
- 风淋室（货淋室）管理标准有哪些? 2011-06-06
- 高效空气过滤器的安装与维护 2011-08-30
- 风淋室助安康供电局实现创新管理 2012-02-29
- 空气过滤器为市民分忧 2013-08-12
- 什么是超净工作台 2010-07-17
- 什么是净化工程 2010-07-17