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洁净室涂布机使用操作方法

发布时间:2011-10-14 00:00:00  浏览:58

洁净室涂布机使用操作方法

1. 首先将PUMP的电源插头插入涂布机后面的电源插座。

2. 将涂布机的插头插入110V的电源插座,然后按下【POWER】键。

3. 设定旋转的转速及时间,本机型為二段式加速的Spin Coating,右边為第一段加速,左边為第二段加速。

4. 依不同尺寸的基材,可更换不同的旋转转盘做涂布的动作。

5. 按下【PUMP】键,此时旋转转盘会吸住基材,然后将光阻依螺旋状从基材中心均匀且慢慢的往外涂开至适当的量,在做光阻涂开动作时可先用氮气将旋转转盘周围及基材吹乾净。

6. 盖上涂布机的保护盖,以防止光阻溅出涂布机外。

7. 按下【START】键,涂布机便开始做涂布的动作。

8. 涂布完毕后,打开保护盖,按下【PUMP】键旋转转盘会放开基材,便可以将基材取出。

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